乐鱼体育app官网下载-上海交大无锡光子芯片研究院光子芯片中试线5月将全线贯通

发布者:乐鱼体育app官网下载 发布时间:2024-01-21

2024年1月5日,上海交通大学无锡光子芯片研究院(CHIPX)光子芯片中试线首批设备搬入仪式举行,这标志着CHIPX建设迈入全新发展阶段。

2023年10月项目主体结构正式封顶,仅仅三个月时间便再度迎来首批设备正式入场的重大节点。本次入场的22台设备是薄膜泥酸理光子芯片中试线的关键组成部分,主要用于光刻干法刻蚀、薄膜沉积、湿法清洗以及切割工艺的研发,可部分满足6/8 英寸晶圆薄膜酸光子芯片制造中光刻、刻蚀、沉积、清洗和切割需求。所有设备将于今年5月完成安装调试,形成薄膜锯酸理光子芯片全流程中试能力。

上海交通大学无锡光子芯片研究院消息显示,上海交通大学无锡光子芯片研究院于2021年12月份成立,研究院由无锡市滨湖区人民政府、上海交通大学、蠡园经济开发区三方共同参与建设。该研究院项目定位为世界一流光子芯片设计中试平台和智慧、绿色、低碳的高能级科创载体样板,一期总建筑面积17144平方米,总投资2.5个亿,其中洁净室面积6497平方米。

消息称,未来,研究院将充分发挥光子芯片中试线的稀缺性和工艺优势,以光子芯片底层技术为驱动,融合芯、光、智、算产业要素,加速形成 “平台+孵化+基金”三位一体的产学研创新生态体系,共同把光子芯谷一期、二期打造成为万亿产业,成为世界级光子芯片产业化中心。

封面图片来源:拍信网